勻烤膠一體機
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機交互界面,實時顯示設(shè)備運行狀態(tài)
高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標
可選配置空氣凈化單元（FFU）

產(chǎn)品型號：SH200
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2025-03-13
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

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詳細介紹

品牌	其他品牌	應(yīng)用領(lǐng)域	化工
旋轉(zhuǎn)速度范圍	20-5000rpm(可選最大10000rpm	加速度范圍	20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度	±1rpm	光刻膠嘴數(shù)量	≤4路
勻膠工藝配方	≤ 100組(每組≤ 100步)	熱板參數(shù)	控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設(shè)備尺寸	1600mm(W)1100mm(D)1850mm(H)

勻烤膠一體機

產(chǎn)品介紹

適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機交互界面,實時顯示設(shè)備運行狀態(tài)
高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標
可選配置空氣凈化單元(FFU)

產(chǎn)品參數(shù)

旋轉(zhuǎn)速度范圍: 20-5000rpm(可選最大10000rpm)
加速度范圍: 20-20000rpm/s
轉(zhuǎn)速精度:±1rpm
(光刻膠嘴數(shù)量:≤4路
勻膠工藝配方:≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數(shù):控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)

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